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北醒(北京)光子科技有限公司
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激光雷达是高度定向的。高相干性、气象场-的单色性和快速发展。它可用于检测气溶胶、机载云、海洋和平流层风场、温室气体、温度和湿度变化等,提供准确的实时数据,为航空飞行提供支持,提供天气预报?天气预报和-模型建模基于数据,它为气候变化?碳循环的研究和预测提供指导。例如,为了检测可吸入颗粒物质和云气溶胶浓度,可以使用反向散射激光雷达;测量风切变、风速在海洋风场、平流层风场,多普勒激光雷达可用于观测温室气体和污染对于气体的浓度和分布,可以使用差分吸收雷达。
二维扫描的mems微振镜是激光雷达的关键器件,主要可以通过电热效应、静电效应、电磁效应和压电效应驱动。有研究小组通过对电热双压电晶片驱动的微振镜加热,金属铝的形变大于介质硅,从而形成微结构的振动。实验可以施加电压2.3v,获得9°的偏转角。但是电热效应引起微振镜偏转通常响应速度较低,有实验通过施加12mw的电功率,响应速度只有74hz。电磁效应驱动的mems系统需要在内部封装可动磁性物质或者可动线圈产生磁场,如图3所示,通过施加磁场形成洛伦兹力使得线圈产生偏转,从而驱动mems振镜偏转,响应速度可以超过10khz。压电效应需要异质材料的介入,压电材料pzt具有、响应速度快等优点。日本研究小组采用电镀的方法在硅上沉积pzt薄膜,加工形成mems结构并进行光学扫描,实验获得11.2khz的响应速度,39°的视场角。静电效应驱动mems具有尺寸小、可单片全集成的优点,受到广泛研究。通常,采用静电效应驱动微反射镜的方式需要在真空环境下,以获得更高的驱动效率,10v电压驱动可以实现大约10°的扫描角度。瑞典kth的研究小组近期验证了一种新方法,如图4所示,通过mems改变光栅周期实现衍射光角度偏转,在20v电压驱动下达到5.6°的扫描角度,功率消耗在微瓦量级。
flash激光雷达的性能主要决定于焦平面探测器阵列,焦平面探测器阵列可以使用pin型光电探测器,在探测器前端加上透镜单元并采用读出电路可以实现短距离探测,系统如图10所示。对于远距离探测需求,目前满足需求的的探测器—雪崩型光电探测器avalanchephotodetector,apd,其探测的灵敏度高,可实现单光子探测,基于apd的面阵探
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